Istilah MEMS bermaksud sistem mikro-elektro-mekanikal. Ini adalah satu set perangkat, dan pencirian peranti ini dapat dilakukan dengan ukuran kecil & mod rekaannya. Perancangan sensor ini boleh dilakukan dengan 1- 100 mikrometer komponen . Peranti ini boleh berbeza dari struktur kecil hingga sistem elektromekanik yang sangat sukar dengan banyak elemen bergerak di bawah kawalan mikro-elektronik gabungan. Biasanya, sensor ini merangkumi penggerak mikro mekanikal, struktur mikro, mikro-elektronik, dan sensor mikro dalam satu bungkusan. Artikel ini membincangkan apakah itu sensor MEMS, prinsip kerja, kelebihan dan aplikasinya
Apa itu Sensor MEMS?
MEMS adalah sensor inersia kos rendah dan ketepatan tinggi dan ini digunakan untuk melayani pelbagai aplikasi industri. Sensor ini menggunakan teknologi berasaskan cip iaitu sistem mikro-elektro-mekanikal. Ini penderia digunakan untuk mengesan serta mengukur rangsangan luaran seperti tekanan, setelah itu ia bertindak balas terhadap tekanan yang diukur tekanan dengan bantuan beberapa tindakan mekanikal. Contoh terbaik ini terutamanya merangkumi putaran motor untuk mengimbangi perubahan tekanan.
The Pembuatan IC MEMS boleh dilakukan dengan silikon, di mana lapisan bahan ringan diletakkan sebaliknya dipasang pada substrat Si. Setelah itu terpilih secara terpencil untuk meninggalkan struktur 3D mikroskopik seperti diafragma, balok, tuas, mata air, dan roda gigi.
mems-ic
Fabrikasi MEMS memerlukan banyak teknik yang digunakan untuk membina litar semikonduktor lain seperti proses pengoksidaan, proses penyebaran, proses implantasi ion, proses pemendapan wap kimia tekanan rendah, sputtering, dan lain-lain. Selain itu, sensor ini menggunakan proses tertentu seperti micromachining.
Prinsip Kerja Sensor MEMS
Setiap kali kecondongan diterapkan pada sensor MEMS, maka jisim seimbang membuat perbezaan dalam potensi elektrik. Ini dapat diukur seperti perubahan dalam kapasitansi. Kemudian isyarat itu dapat diubah untuk membuat isyarat output stabil dalam digital, 4-20mA atau VDC.
Sensor ini adalah penyelesaian yang baik untuk beberapa aplikasi yang tidak menuntut ketepatan maksimum seperti automasi industri, kawalan posisi, pengukuran gulungan, dan nada, dan meratakan platform.
Jenis MEMS
Jenis sensor MEMS yang biasa didapati di pasaran adalah
- Pecutan MEMS
- Giroskop MEMS
- Sensor tekanan MEMS
- Sensor medan magnet MEMS
Kelebihan MEMS
Kelebihan sensor MEMS merangkumi yang berikut.
- Pembuatan MEMS adalah pembuatan IC semikonduktor seperti penemuan jisim kos rendah, konsistensi juga penting untuk peranti MEMS.
- Ukuran sub-komponen sensor akan berada dalam julat 1 hingga 100 mikrometer dan ukuran peranti MEMS akan menentukan jarak 20 mikro hingga milimeter.
- Penggunaan kuasa sangat rendah.
- Mudah dimasukkan ke dalam sistem atau perubahan
- Pemalar terma kecil
- Ini sangat menentang kejutan, radiasi, dan getaran.
- Toleransi pengembangan termal yang lebih baik
- Paralelisme
Aplikasi MEMS
Sensor MEMS digunakan dalam domain yang berbeza yang merangkumi automotif , pengguna, perindustrian, ketenteraan, bioteknologi, penerokaan ruang angkasa, dan tujuan komersial yang merangkumi pencetak inkjet, akselerometer di dalam kereta moden, elektronik pengguna, dalam komputer peribadi, dll.
Contoh terbaik peranti MEMS merangkumi optik adaptif, sambungan silang optik, beg udara pecutan , susunan cermin untuk TV & paparan, cermin mikro yang dapat dikendalikan, peranti RF MEMS, alat perubatan yang tidak boleh digunakan semula, dll.
Oleh itu, ini semua berkaitan dengan Sensor MEMS . Kelemahan utama sensor ini adalah, walaupun kos pembuatan untuk setiap bahagian sangat rendah. Tetapi ada pelaburan besar yang berkaitan semasa merancang, membuat, dan berjaya produk berasaskan MEMS. Oleh itu, para pereka tidak akan memperluas komponen untuk aplikasi dengan jumlah rendah. Berikut adalah soalan untuk anda, apakah kategori peranti MEMS?
